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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

离子注入系统中的双XY可变孔径

US17382041 2021-7-21 发明申请

2023-1-26

公开了一种能够在两个维度上改变孔径尺寸的孔径光阑。孔径光阑可用于离子注入系统中，例如在质量分析器和加速柱之间。这样，孔径光阑可以用于控制离子束的至少一个参数。这些参数可以包括高度方向上的角扩展、宽度方向上的角扩展、束电流或横截面积。示出了孔径光阑的各种实施例。在某些实施例中，可以独立地控制孔在高度和宽度方向上的尺寸，而在其他实施例中，高度和宽度之间的比率是恒定的。