| 用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器及方法 |
| TW110118251 2021-5-20 发明申请 |
| 2022-2-1 |
| 一种清洁度监测器、一种评估系统及一种方法。清洁度监测器可包括：第一真空腔室、第二真空腔室、分子收集器、释放单元、质谱仪、可经配置以使分子收集器自第一位置移动至第二位置之操纵器及分析仪。质谱仪可具有至第二真空腔室之内部空间的视线。质谱仪可经配置以监测第二真空腔室之内部空间并产生指示第二真空腔室之内部空间的内容物之侦测信号。侦测信号之第一子集可指示已释放有机分子之至少子集的存在。分析仪可经配置以基于侦测信号决定()第一真空腔室及()受测试真空腔室中的至少一者之清洁度。受测试真空腔室流体耦合至第一真空腔室。; . : ........().() |
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