| 一种离子引导杆及检测装置 |
| CN202211192997.6 2022-9-28 发明申请 |
| 2023-1-24 |
| 本发明公开了一种离子引导杆及检测装置,其中离子引导杆包括:支撑柱;以及尖端管,其设置于所述支撑柱上;其中,所述支撑柱与所述尖端管之间设置有调节管,所述调节管套接于所述支撑柱的外周,且不同的调节管长度不同。根据本发明,其能够严格保证离子引导杆与截取锥的轴向间距,精度达到0.1mm,消除了装配尺寸链带来的误差。从结构上优化了质谱仪的性能,减少了生产装配过程的台间差异,同时能够实现不拆除离子光学导轨,在真空腔体中就完成离子引导杆的长度调节,大大简化了调节过程,提高了装调效率。 |