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悬臂，扫描探针显微镜和使用扫描探针显微镜的测量方法

WOJP20018300 2020-4-30 发明申请

2021-2-4

本发明提高了扫描探针显微镜的测量灵敏度。在横截面图中，悬臂包括接近试样并被金属膜覆盖的顶点部，与顶点部连接并被金属膜覆盖的脊部，以及与脊部连接的上角部。上角部和脊部的一部分被从扫描探针显微镜的光源发射的激发光照射。