测量装置,原子力显微镜和测量方法
 
WOJP20027391  2020-7-14  发明申请

2021-2-4
 
  一种测量装置(10a,110),包括:产生单元(202a),其产生具有设定为接近振动器(11)的共振频率的基准频率的基准信号; 振幅检测部(204a),其基于振动器(11)的位移信号和由生成部(202a)生成的基准信号,检测包含基准频率的规定范围内的振动器(11)的热振动振幅; 以及计算单元(206a),其基于检测到的热振动幅度来计算振动器(11)的共振频率。
 
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