| 一种基于叠层结构的质谱仪 |
| CN202211186602.1 2022-9-27 发明申请 |
| 2023-1-6 |
| 本发明涉及一种基于叠层结构的质谱仪，包括进样装置、电离装置、质量分析器、检测器和真空腔体。所述真空腔体由两层基板堆叠而成。所述进样装置或电离装置或所述质量分析器或所述检测器的至少一个电极在所述基板上制作而成。本发明解决了离子光学器件的异质异构、集成度低的问题，并将真空腔体与离子光学器件进行融合，解决了现有真空腔体的结构复杂、冗余设计、笨重庞大等问题。本发明所述的质谱仪结构简单，消除了冗余设计，极大减小了仪器的体积和重量，有利于仪器的小型化，便于大批量平行制造，大大降低了制造成本。 |
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