| 一种用于质谱仪的真空系统 |
| CN202221917223.0 2022-7-20 实用新型 |
| 2023-1-3 |
| 本实用新型涉及生物质谱仪技术领域，公开了一种用于质谱仪的真空系统，包括底板和设置在所述底板上的真空腔体、分子泵、隔膜泵，所述真空腔体、所述分子泵和所述隔膜泵通过管路依次连通，所述隔膜泵通过固定板与所述底板连接，所述隔膜泵与所述固定板之间设有第一减震装置，所述固定板与所述底板之间设有第二减震装置，通过二级减震，从而大大减少隔膜泵工作时产生的震动，进而避免真空管路断开或破损，从而大大减少真空管路漏气可能性，使真空管路密封可靠。 |
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