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多束二次离子质量测量装置

JP2020559489 2019-4-24 发明申请

2021-8-30

本发明提供一种二次离子质谱计，其包括一次离子束装置和用于收集，质量过滤和随后检测由于样品被多个一次离子束冲击而从样品中释放的二次离子的装置。光谱计通过并列使用多个一次离子束来扫描试料的表面而受到关注。