| 低能量扫描电子显微镜系统，扫描电子显微镜系统及试样检测方法 |
| IL278852 2020-11-19 发明申请 |
| 2021-1-31 |
| 本发明公开了一种低电压扫描电子显微镜，其包括：电子源，被配置为产生电子束； 配置成加速电子束的电子束加速器； 被配置为会聚由电子束加速器加速的电子束的复合物镜； 偏转装置，设置在所述磁性透镜的内壁和所述电子束的光轴之间，并被配置为偏转所述电子束； 检测装置，包括：第一子检测装置，用于从样品接收二次电子和反向散射电子；第二子检测装置，用于接收反向散射电子；以及控制装置，用于改变二次电子和反向散射电子的轨迹； 静电透镜包括第二子检测装置，样品台和控制电极，用于降低电子束的移动速度和改变二次和反向散射电子的移动方向。 |
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