| 涡轮分子泵和质谱仪 |
| JP2019094807 2019-5-20 发明申请 |
| 2020-5-7 |
| 所述第二进气口2[T]为立式涡轮分子泵的排气速度。 涡轮分子泵为[A]， 第二进气口103，102，101，12和进气口并列设置在凸缘部上， 第一部分104和105以及壳体部分2具有泵壳体10的壳体1， 在第1空间内的第2级泵21，11的第1泵级PS1，PS2形成在104S之间， 设置第一泵级PS1从第一进气口111012102排出的废气中的第一进气口通过来自排气汇合部的第一区域的气体汇合部104S2(排气通路34)， 第一区域2区域1区域2的第一泵级PS1暴露于相对的104S2104S2。 图6[图] |
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