| 一种电镜探测器的驱动机构及电镜探测器装置 |
| CN202011045691.9 2020-9-28 发明申请 |
| 2021-1-29 |
| 一种电镜探测器的驱动机构及包含有该驱动机构的电镜探测器,属于电镜技术领域。该驱动机构包括固定件,与样品室相连;伸缩件,与所述固定件可伸缩移动相连,所述样品室设有开口,所述伸缩件包括:安装有探测器的伸缩部,所述伸缩部穿过所述开口且受驱动地带动所述探测器伸缩移动。本发明通过驱动位于固定件上的伸缩件,带动位于样品室内的、位于伸缩部上的探测器进行移动,以此来改变探测器的位置,当不需要使用该探测器时,只需要改变探测器的位置,使其脱离电子光学系统,而无需将探测器从样品内取出;这种操作方式简单快速。 |