| X电极分割十字多维压电马达及控制方法和扫描探针显微镜 |
| CN202011073235.5 2020-10-9 发明申请 |
| 2021-1-29 |
| 本发明涉及X电极分割十字多维压电马达及控制方法和扫描探针显微镜，X电极分割十字二维压电马达，包括滑板，其特征是还包括一个十字形压电体，其中心设有X形电极分割线，构成电极独立的四个支臂结构，其中一对不相邻的支臂沿着x+或x?方向形变，称为第二、四支臂，另一对不相邻的支臂沿着y+或y?方向形变，称为第一、三支臂，设置四个大小相等的正压力将上述四个支臂的末端压于滑板的滑面上。本发明同时提出的对于该马达的控制方法以及利用其制成的三维压电马达和扫描隧道显微镜，结构简单、紧凑，十字形压电体受到的弹力自调节，压电材料的使用效率高，推力大，行程广，对称性高，工作温区大。 |
微信公众号