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电容器和射频发生器以及使用它们的其它装置

CA3038465 2017-9-26 发明申请

2018-4-5

本发明描述了稳定电容器的某些结构，其包括由包含选定热膨胀系数的材料制成的电极，以增强稳定性。所述电极可通过一个或多个介电层或其部分彼此间隔开。在一些情况下，电极包括整体材料并且不包括任何薄膜。所述电容器可用于例如反馈电路，射频发生器和与质量滤波器和/或质谱装置一起使用的其它装置。