| 二次离子质谱仪和二次离子质谱法 |
| US15756229 2016-9-8 发明申请 |
| 2018-9-20 |
| 一种二次离子质谱仪，包括 : (a)第一一次离子源，用于产生具有短脉冲持续时间的第一脉冲一次离子束；(b)第二一次离子源，用于产生具有在50ns至5s范围内的脉冲持续时间的第二脉冲一次离子束；(c)第一TOF-SIMS分析单元，用于从样品中对由第一一次离子源的一次离子脉冲产生的二次离子进行质谱分析； 和(d)第二分析单元，用于对由来自样品的第二初级离子源的初级离子脉冲产生的次级离子进行质谱分析。 |
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