| 用于晶片对准的多扫描电子显微镜 |
| US16564453 2019-9-9 发明授权 |
| 2021-1-26 |
| 一种方法包括控制多扫描电子显微镜，以在机动化处理台处于第一位置时捕获附着到机动化处理台的晶片的第一图像。 第一图像包括晶片的凹口的至少一部分。 所述方法还包括基于所述第一图像确定所述晶片的径向轴，以及控制所述机动化处理台使所述晶片沿所述径向轴移位所述晶片的直径的一半，使得所述机动化处理台处于第二位置。 该方法还包括当机动化处理台处于第二位置时，控制MSM捕获晶片的第二图像。 第二图像包括晶片结构。 另外， 该方法包括：基于第二图像的晶片结构的结构识别来确定晶片的参考位置； 以及基于所述基准位置和所述径向轴将所述晶片的晶片坐标系配准到所述机动化处理台的台坐标系。 |
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