| 离子源、重粒子束照射装置、离子源驱动方法及重粒子束照射方法 |
| US13771818 2013-2-20 发明申请 |
| 2013-9-12 |
| 激光烧蚀等离子体发生器从真空容器中的目标产生激光烧蚀等离子体。 离子束提取器通过从真空容器提取包含在激光烧蚀等离子体中的离子来产生离子束。 离子检测器从真空容器中的离子中检测除目标中的元素电离获得的预期离子之外的非预期离子，并输出表示非预期离子的数量或非预期离子与预期离子的混合比的值的检测信号作为检测结果。 使用激光束的离子源可以正常地监测真空容器中离子中的非预期离子，而不是预期离子。 |
微信公众号