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带电粒子检测器,带电粒子束装置及质谱分析装置
WOJP17002413 2017-1-25 发明申请
2017-8-3
本发明的目的是提供一种带电粒子检测器和带电粒子束装置它可以获得高发光输出功率,同时快速消除带电粒子入射到一闪烁体。为了达到此目的,本发明提出 : 一种带电粒子检测器设置有发光单元(1)包括含GaInN层叠而成的叠层结构层(21)和GaN层(22),和具有导电层(2)相接触,与GaInN上的带电粒子含有层入射表面侧的叠层结构;和带电粒子束装置。
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