| 扫描电子显微镜设备及用于成像浮动金属结构之充电控制的方法 |
| TW106111261 2017-3-31 发明授权 |
| 2021-1-21 |
| 公开了一种扫描电子显微镜系统。 所述系统包括样品台，所述样品台被配置为固定具有设置在绝缘衬底上的导电结构的样品。 该系统包括电子-光柱，该电子-光柱包括被配置为产生主电子束的电子源和被配置为将主电子束的至少一部分引导到样品的一部分上的一组电子-光学元件。 所述系统包括检测器组件，所述检测器组件被配置为检测从所述样品的表面发射的电子。 所述系统包括通信地耦合到所述检测器组件的控制器。 所述控制器被配置为引导所述电光柱和所述载物台执行， 利用所述主电子束，交替地对所述样品的所述部分进行一系列图像扫描和泛光扫描，其中，每个所述泛光扫描与一个或多个所述成像扫描顺序地执行。 |
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