| 基于原子力显微镜的测量装置 |
| CN202020895038.0 2020-5-25 实用新型 |
| 2021-1-19 |
| 本实用新型涉及一种基于原子力显微镜的测量装置，原子力显微镜扫描头固定设置，在测量过程中静止不动，原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号，原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器，平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测，计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见，本实用新型的一种基于原子力显微镜的测量装置，能够方便地进行测量，测量过程中，原子力显微镜扫描头保持静止，避免了振动导致的测量误差，提高了测量准确性。 |
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