| 一种二次离子质谱仪中的磁分析器 |
| CN202210883186.4 2022-7-26 发明申请 |
| 2022-11-11 |
| 本发明涉及一种二次离子质谱仪中的磁分析器，包括上安装座、下安装座、上电磁铁组件、下电磁铁组件和真空管，上安装座和下安装座相互盖合，内部形成容置腔；下电磁铁组件包括下扇形磁铁、下固定圆台和第一线圈，下扇形磁铁的水平截面由底部朝顶部逐渐变小，下扇形磁铁的底部固定于下固定圆台，下固定圆台固定于容置腔下底面，第一线圈围绕下固定圆台设置；上电磁铁组件与下电磁铁组件相对设置，上扇形磁铁底部和下扇形磁铁顶部之间形成狭缝，真空管设置于狭缝中，弯曲方向与上扇形磁铁和下扇形磁铁一致，且真空管的两端穿出容置腔的侧壁，形成离子入射口和离子出射口。本发明能够产生均匀、相对集中的磁场，用于聚焦、偏转和过滤飞行离子束。 |
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