| 质谱仪 |
| JP2021076589 2021-4-28 发明申请 |
| 2022-11-10 |
| [课题]防止油从旋转泵(RP)回流到真空室，即使止回阀异常。 [解决方法]根据本发明的质谱仪的一个方面， 和一个内部形成真空室的真空室， 真空泵(18)，通过与真空室连通的进气口对真空室进行真空排气； 用于粗拉真空泵的RP(16)；连接真空泵的排气口和RP的进风口的管道，包括第一管道和第二管道的真空管道(19A2，19C)；以及插在真空管道中间且靠近RP的内部具有预定内容积的空间的储油部，其内容积被确定为使得包括储油部的RP和最高部位之间的真空管道的内容积大于在RP中用作密封材料的油的最大容量，从而将真空管道分为真空泵侧的第一管道(19A2)和RP侧的第二管道(19C) [选择图]图2 |
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