| 一种光电元器件加工用离子注入系统 |
| CN202210854332.0 2022-7-20 发明申请 |
| 2022-9-20 |
| 本发明公开了一种光电元器件加工用离子注入系统，包括底板，所述底板的顶部焊接有壳体，底板的顶部外壁通过螺栓连接有安装架，安装架的一侧外壁通过螺栓连接有质量分析仪，质量分析仪的一侧外壁通过螺栓连接有离子源，质量分析仪的底部外壁通过螺栓连接有加速机构，安装架的一侧外壁通过螺栓连接有反应罩，反应罩的底部设置有升降板，升降板的顶部外壁通过轴承连接有转轴，转轴的顶端焊接有转盘。本发明通过加速管对离子进行加速，使得离子能够打入半导体晶片的内部，然后再通过加热组件对半导体晶片进行加热，使得杂质离子能够通过热扩散的方式进入半导体晶片的内部，进而使得光电元器件进行注入离子时更加的高效的效果。 |
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