| 亚微米级的元素图像的装置和方法通过质谱分析 |
| CA2943617 2015-3-30 发明申请 |
| 2015-10-8 |
| 质谱仪上设置平面样品元素分析系统。在一些实施例中，所述的质谱仪系统，包括 : 初级离子源可以照射到平面样品与主横梁上有一段直径小于1的离子，c)正交离子质量-电荷比分析仪下游的样品接口，所述分析器被配置成分离的第二种元素原子离子根据它们的质量-电荷比的飞行时间；d)元素原子离子和离子检测器，用于检测所述二次产生大量的光谱测量值；以及e)一个同步器，所述系统被配置从而使一次离子束扫描的二维平面样品和同步器相关联的质谱测量与平面样品的位置上。 |
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