| 一种密封装置、差分抽气真空系统及质谱仪器 |
| CN202221834143.9 2022-7-15 实用新型 |
| 2022-10-28 |
| 本实用新型公开了一种密封装置、差分抽气真空系统及质谱仪器，涉及仪器设备技术领域。密封装置，用于差分抽气真空系统，在低真空度腔室安装时，通过对下压触发件带动传动组件上移，使复位弹簧拉伸，并带动压臂上移，以使密封件脱离差分抽气孔；需要拆卸低真空度腔室时，撤销对触发件的下压力，利用复位弹簧复位，带动压臂下移，使密封件密封差分抽气孔。能够实现拆装末端腔室的同时自动密封或者放开差分抽气孔，无需在腔室外设置手动操作机构，减小人工误操作的同时减小真空室的密封圈数量，提高真空室的可达真空度；还可以很大程度上减小前后两级真空室里的工作单元的最小距离。 |
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