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焦平面探测器
KR1020227008724 2020-8-14 发明申请
2022-4-21
本发明提出一种用于检测带电粒子的检测装置。 检测器的有源区沿主方向延伸至超过几厘米的最大1米或更大。 这允许将其用作质谱仪装置的焦平面检测器,从而允许并行地并且在减少的获取时间内记录由光谱仪提供的所有质荷比。
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