| 用于气体和光刻设备的光谱检查的装置 |
| DE102021204046 2021-4-22 发明申请 |
| 2022-10-27 |
| 本发明涉及一种用于气体(2)的光谱分析的设备(1)，其包括：用于从离子室(5)提取待分析的气体(2)的离子(11)的提取装置(12)、用于检测离子(11)的离子检测器(13)、用于将离子(11)从提取装置(12)沿着离子传送线(Lm)传送到离子检测器(13)的离子传送装置(14)、用于将制动气体(17)供给到离子传送线(Lm)的供给装置(16)， 以及评估装置(21)，用于确定在离子(11)从提取装置(12)沿着离子传输线路(Lm)传输到离子检测器(13)期间的传输时间(tm)。 所述装置(1)被设计用于在第一、较低的压力范围(Δp1)和第二、较高的压力范围(Δp2)之间沿所述离子传输线路(Lm)切换压力(pM)，并且所述评估装置(21)被设计用于在第一运行状态(MS)中利用所述离子(11)在所述第一压力范围(Δp1)中的所述压力(pM)下的传输时间(tm)和在第二运行状态(IMS)中对所述气体(2)进行质谱分析， 在第二压力范围(Δp2)中使用在压力(pM)下的离子(11)的传输时间(tm)进行气体(2)的离子迁移谱分析。 本发明还涉及一种光刻系统，特别是EUV光刻系统，其包括至少一个这样的设备(1)。 |
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