| 一种电子特气行业质谱仪用自动进样系统 |
| CN202210639580.3 2022-6-7 发明申请 |
| 2022-10-25 |
| 本发明公开了一种电子特气行业质谱仪用自动进样系统，包括置换吹扫气路系统、进样系统、压力控制系统、真空放空系统和PLC控制系统，所述PLC控制系统与置换吹扫气路系统、进样系统、压力控制系统和真空放空系统电连接。本发明所述的一种电子特气行业质谱仪用自动进样系统建立氦检、置换、进样、吹扫等自动功能模块，实现一键操作；对该系统进行不同压力状况下进样控制测试，可以同时满足超高压、超低压电子特气质谱1?10torr压力稳定进样，质谱腔内压力3E?6到8E?5torr稳定分析，实现对高压、极低压样品、吹扫气等不同压力气体的稳定输出控制，保证样品流出稳定性，满足高端质谱分析检测需求，带来更好的使用前景。 |
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