| 分子泵与质谱检漏仪 |
| CN202210682479.6 2022-6-16 发明申请 |
| 2022-10-21 |
| 本说明书实施方式提供一种分子泵及质谱检漏仪，其涉及检测设备领域。所述分子泵包括：具有空腔和设备容纳腔的壳体，沿着重力方向，所述空腔位于所述设备容纳腔的上方，所述设备容纳腔用于收容抽气设备，所述空腔的侧壁设置有用于连接质谱检测装置的连接口和气体入口。所述质谱检漏仪包括：具有离子源、磁场和放大器的质谱检测装置和上述分子泵。由气体入口进入分子泵的气体不会经过抽气设备，大部分气体通过连接口进入质谱检测装置，减少了经过分子泵时目标气体的损失，提高了质谱检漏仪的精度。 |
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