产业专利数据
 
用于扫描电子显微镜的可移除柱单元及其提供方法
 
KR1020200184778  2020-12-28  发明申请
2021-1-12
 
  根据本发明的扫描电子显微镜可以安装到样品安装单元和从样品安装单元拆卸。 本发明提供了一种用于更换柱的柱，以通过用柱更换柱来用柱更换柱。
 
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