| 一种质谱分析装置及其离子源照明成像系统 |
| CN202221238106.1 2022-5-20 实用新型 |
| 2022-10-4 |
| 本实用新型涉及质谱检测仪器技术领域，公开了一种离子源照明成像系统，包括离子源单元、照明单元和成像单元，离子源单元包括离子源腔体、加速电场装置和靶板，加速电场装置设于离子源腔体的内部，靶板位于离子源腔体的下方，靶板用于放置样品，照明单元和成像单元与离子源腔体连接，照明单元用于发出照射在样品的表面的照明光，成像单元用于接收样品反射的照明光以用于样品成像，照明单元与靶板上的样品之间的光路不经过加速电场装置，可使成像单元仅捕捉到靶板上的样品的图像，能够使最后的成像清晰、背景不杂乱，成像效果好。另外，本实用新型还提供一种质谱分析装置，包括移动单元和上述离子源照明成像系统，移动单元用于带动靶板移动。 |
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