| 扫描电子显微镜和图像处理装置 |
| US16043958 2018-7-24 发明申请 |
| 2019-1-31 |
| 本发明利用材料数据库中已知或输入的材料成分，工艺条件和晶体结构候选信息来确定样品台倾角和工作距离(WD)。 在这些确定的倾斜角和WD下，使用扫描电子显微镜(SEM)系统测量以不同角度和不同能量发射的电子的强度，该系统包括 : 含有材料组成，形成过程，晶体结构及其电子产率的材料数据库的使用； 可移动，旋转和倾斜的样品台； 处理部分，用于从材料数据库和测量条件计算用于观测的最佳工作距离； 一种用于基于从SEM观察获得的图像获取样品的期望区域的晶体信息的图像的装置。 |
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