| 一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜 |
| CN202010823697.8 2020-8-17 发明申请 |
| 2020-11-17 |
| 本发明公开一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，涉及电子显微镜技术领域，主要包括机架，所述机架上设置有电镜腔室；所述电镜腔室的一侧连接有疲劳室，另一侧连接有蠕变室；所述蠕变室内设置有高温蠕变台，所述蠕变室通过第一控制阀与所述电镜腔室连接，所述疲劳室内设置有高温疲劳台，所述疲劳室通过第二控制阀与所述电镜腔室连接；所述蠕变室内还设置有第一传送机构，所述第一传送机构与所述高温蠕变台连接，所述疲劳室内还设置有第二传送机构，所述第二传送机构与所述高温疲劳台连接。本发明可以实现原位高温蠕变疲劳在线监测。 |
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