| 一种故障检测装置及质谱仪 |
| CN202210568570.5 2022-5-24 发明申请 |
| 2022-9-13 |
| 本发明公开了一种故障检测装置及质谱仪，涉及故障检测技术领域，应用于质谱仪中处于真空腔体中的电机，将各个第一可控开关通过各个线圈连出真空腔体的供电接口与各个线圈串联，并将得到的N个串联后的电路并联，并联后的电路再与处理模块及电源连接，无需改变真空腔体中电机的本身的走线结构，处理模块控制N个第一可控开关分别导通，采集所述并联后的电路两端的第一电压，以确定电机的工作状态。相较于现有技术，本申请提供的故障检测装置可以实现对于处于封闭真空腔体的电机的工作状态的检测，便于及时发现故障并处理，且无需人为参与，自动化程度高，保障了质谱仪的工作性能。 |
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