| 一种质谱仪的离子源极板清洗装置及方法 |
| CN202210647069.8 2022-6-9 发明申请 |
| 2022-9-6 |
| 本发明公开了一种质谱仪的离子源极板清洗装置以及方法，涉及质谱仪设备技术领域，该清洗装置包括设置在质谱仪的真空腔室的外部的激光器，激光扫描调节部件；设置在真空腔室的侧壁上的透光通孔，以及密封透光通孔的透光玻璃；设置在真空腔室内部的反射元件；激光扫描调节部件用于对激光器输出的激光光束进行方向和/或位置的调节，以使激光光束入射至反射元件上不同位置点并相应反射在离子源极板不同位置点上进行扫描照射。本申请中设置在真空腔室外侧壁上激光器输出的激光光束依次通过激光扫描调节部件、透光玻璃、和反射元件入射至离子源极板的表面，实现离子源极板表面更全面的清洗，简化离子源极板清洗难度并保证离子源极板的清洗效果。 |
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