| 一种基于波导布拉格光栅的原子力显微镜探针及系统 |
| CN202010601368.9 2020-6-28 发明申请 |
| 2020-9-15 |
| 本发明涉及原子力显微镜技术领域，且公开了一种基于波导布拉格光栅的原子力显微镜探针及系统，探针由一体成型的微悬臂与针尖、以及写制在微悬臂上的光波导及布拉格光栅构成，激光光源发射的激光从光波导的一端输入，经过布拉格光栅反射后形成回波并被收集，微悬臂以自身形变的方式感应针尖与待测样品上表面之间的距离，微悬臂形变的同时引起附着其上的光波导中布拉格光栅周期的变化，进而引起反射光频率和强度的变化，经过系统后的回光波长发生变化，通过与本振光源发出的本振光拍频的方式得到具有电学频率的拍频信号，使用光电探测器采集后即可根据信号频率的变化反推出微悬臂的形变量。 |
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