| 具有改进的烧蚀光清洁的离子源 |
| EP19732423 2019-6-14 发明申请 |
| 2020-4-22 |
| 负离子源包括 : 电离光源，被设置为输出用于电离样品材料的电离光； 电极，具有用于吸引离子化样品材料的电极表面，污染物材料能够积聚在该电极表面上；以及烧蚀光源，被布置为输出烧蚀光束或脉冲，用于从电极表面烧蚀电极的材料。 烧蚀光束或(多个)脉冲不包括所述电离光。 用于将烧蚀光反射到电极表面上的反射器，通过烧蚀过程，当电极表面的一部分积累在该部分上时，该部分连同污染物材料可从电极上移除。 |
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