| 一种质谱仪中离子源极板的清洗装置及方法 |
| CN202210645943.4 2022-6-9 发明申请 |
| 2022-9-2 |
| 本发明公开了一种质谱仪中离子源极板的清洗装置以及方法，涉及粒子检测技术领域，该清洗装置包括：设置在质谱仪中真空腔室的外部的激光器，用于输出激光光线；设置在真空腔室的侧壁上，且位于激光器输出光路上的透光窗口，用于透射激光光线，以使激光光线入射至真空腔室内；设置在真空腔室内部的反射组件，用于对经过透光窗口入射的激光光线向质谱仪中的离子源极板反射，以使激光光线对离子源极板表面附着的离子进行清洗。本申请中设置在真空腔室外侧壁设置的激光器输出的激光光线经过真空腔室内的反射组件的反射至离子源极板实现对离子源极板的清洗，降低离子源极板的清洗难度和对激光器的工作要求，从而降低离子源极板的维护成本。 |
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