| 用于离子注入工序的原子筛除装置 |
| CN202210730885.5 2022-6-24 发明申请 |
| 2022-9-2 |
| 一种原子筛除装置，用于半导体制造工艺的离子注入工序，其包括第一原子筛除模块和第二原子筛除模块。第一原子筛除模块包括扇形质量分析器，第二原子筛除模块包括第一电极板对、第二电极板对、第一驱动器和第二驱动器。扇形质量分析器筛除偏转半径大于扇形质量分析器的外侧壁或小于扇形质量分析器的内侧壁的元素，第二原子筛除模块筛除偏转半径介于扇形质量分析器的外侧壁与内侧壁之间的元素。从而筛除与用于离子注入的离子具相近原子量或其同位素的元素，提高高端制程的离子注入工序的良率，同时对离子束起到汇聚的作用，也减少二次电子和辐射。 |
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