| 一种四极杆质量分析器装配方法及装置 |
| CN202210538514.7 2022-5-17 发明申请 |
| 2022-9-2 |
| 本发明公开了一种四极杆质量分析器装配方法,属于质谱分析领域,包括装置搭建、电极杆预放置、电极杆位置测量及调节、安装陶瓷环、陶瓷环固定以及装置拆卸等步骤,通过上述步骤,使四极场场圆精度完全取决于心轴加工精度,减少了尺寸链;降低了装配工艺难度,过程中的电极杆位置调节变得更简单;四极杆的场径比控制变得更精准,电极杆组杆径的公差带被放得更宽,降低了工艺难度,提高了良品率。本发明还涉及实施上述四极杆质量分析器装配方法的四极杆质量分析器装配装置。 |