| 离子源装置及质谱仪 |
| CN202210746622.3 2022-6-29 发明申请 |
| 2022-8-30 |
| 本发明涉及一种离子源装置及质谱仪，所述离子源装置包括：盖板，所述盖板用于盖设在真空腔体的一端；离子源组件，所述离子源组件的一端设有第一配合部，所述第一配合部用于与所述第二配合部定位配合；支撑柱，所述支撑柱的一端与所述盖板连接，且所述离子源组件与所述支撑柱滑动连接；复位件，所述复位件设置于所述盖板与所述离子源组件之间，所述离子源组件通过所述复位件与所述盖板复位配合。上述离子源装置，由于第一配合部与第二配合部的定位作用，安装方便，能够提高离子源组件与质量分析器的定位便利性，从而能够保证维修后组装的对中定位精度，使得离子传输通道同心，从而保证质谱仪的离子传输效率，提高组装后的工作可靠性。 |
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