| 二次离子质谱法 |
| JP2018126907 2018-7-3 发明申请 |
| 2020-1-16 |
| [问题]增加到达检测器的二次离子。 设置在基底12和电极16之间的引入电极14是校正的样品[溶液]排列。 10。距待分析样品的顶部预定距离, 导入电极导入电极14相对于第一基准面和与斜率37和38的值相切的平面定位0.85, 10。将待分析样品与第二参考平面39之间的预定距离设置为检测范围, 定位校正电极边缘中的检测范围,可以校正在从待分析样品出来的方向上的二次离子检测电极,增加二次离子检测器。 图1[附图] |