| 通过电子能量扫描定量处理室物质 |
| US17037032 2020-9-29 发明申请 |
| 2022-3-31 |
| 一种等离子体处理系统，包括：等离子体室，被配置为容纳等离子体； 快门室，其经由第一孔口流体耦合到等离子体室；质谱仪，其流体耦合到快门室；以及快门，其在粒子束的路径中设置在第一孔口和质谱仪之间的快门室中。 第一孔口被配置为使用快门室和等离子体室之间的压力差从等离子体产生粒子束。 所述质谱仪包括离子发生器，所述离子发生器被配置为通过在多个能量步骤中扫过一定范围的电子能量来离子化所述粒子束的种类。 所述快门被配置为在所述多个能量步骤中的每一个能量步骤期间打开和关闭。 |
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