| 离子质量分析器及离子注入装置 |
| CN202210420502.4 2022-4-21 发明申请 |
| 2022-8-12 |
| 本发明公开的一种离子质量分析器及离子注入装置，离子质量分析器包括磁轭、设于磁轭内且呈上下对称分布的第一磁极和第二磁极、位于第一磁极与第二磁极之间且供混合离子束以一定路线通过的束线腔、缠绕在第一磁极上的第一线圈以及缠绕在第二磁极上的第二线圈；第一磁极和第二磁极均为扇形，第一磁极和第二磁极的入射面均为凹面，第一磁极和第二磁极的出射面均为凸面，且凹面的曲率为－0.8～－0.5，凸面的曲率为0.45～0.6；入射时混合离子束线与所述入射面法线之间的夹角为56.5°～60°，出射时偏转离子束线与所述出射面法线之间的夹角为－10.5°～－13°。本发明所述离子质量分析器的分辨率大于200。 |
微信公众号