| 质谱仪及其离子毯清洗装置 |
| CN202123433932.X 2021-12-30 实用新型 |
| 2022-8-9 |
| 本实用新型涉及一种质谱仪及其离子毯清洗装置，质谱仪包括壳体和离子毯清洗装置，壳体内形成有真空腔；离子毯清洗装置设置在真空腔内。离子毯清洗装置包括四极杆、清洗电极组件和真空组件，四极杆内形成有传输通道用于输入清洗气体；清洗电极组件和四极杆间隔设置形成辉光放电区域，辉光放电区域能够形成辉光放电并产生清洗离子，清洗电极组件内形成有清洗区域，清洗区域内用于放置离子毯，清洗离子能够在清洗区域内运动并扩散至离子毯的表面；真空组件用于抽取多余的清洗气体分子，形成梯度压差。清洗离子通过溅射、分子离子反应等，去除离子毯表面杂质，真空组件在清洗区域的侧抽能够排出多余的清洗气体分子，提高了离子毯清洗装置的清洗效率。 |
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