| 一种翻盖式取景器涡轮分子泵和增压泵泄漏质谱普通轴 |
| DE102016210701 2016-6-15 发明申请 |
| 2017-12-21 |
| 本发明涉及一种质谱检漏仪，包括多级涡轮分子泵(12)，质谱仪(17)连接到所述涡轮分子泵的吸入侧(12)，初步真空泵(18)连接到所述涡轮分子泵的压力侧(12)，和增压泵级(24)，所述吸入侧具有连接件(28)，用于测试待测物体的压力侧其连接到涡轮分子泵(12)的压力侧和吸入侧。初步真空泵(18)通过气体线路(22)，其特征在于 : 所述级(30，32)的涡轮分子泵(12)和一个共同的轴上设置有一级增压泵和具有共同的驱动装置(34)，所述的输气管路中断时，通过分离(36)，一级增压泵的压力侧之间，该增压泵可连接到测试对象，所述的抽吸泵级的涡轮分子泵(12)连接到质谱仪(17)。 |
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