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一种扫描电子显微镜工作距离测量及预警装置

CN202010026167.0 2020-1-10 发明申请

2020-5-8

本发明涉及一种扫描电子显微镜工作距离测量及预警装置。本发明包括：物镜极靴(1)；样品台(2)；距离传感器(3)；报警器(4)；摄像头(5)。本发明适用于扫描电子显微镜的工作距离监控，当样品台距物镜极靴距离过近时，距离传感器会及时报警并阻断当前操作，避免样品碰到极靴，造成电镜故障。