| 角度扫描使用角能量过滤器 |
| WOUS15028201 2015-4-29 发明申请 |
| 2015-11-5 |
| 离子注入系统和方法，提供用于改变被扫描的离子束的入射角度相对对工件同时与被扫描的离子束冲击工件。该系统具有离子源被配置为形成离子束和质量分析器，被配置成质量分析离子束。离子束扫描器，被配置为扫描离子束第一中的方向，其中限定一个被扫描离子束。一种被配置为支撑工件的工件支撑在其上，和角度植入装置被配置为改变所扫描的离子束的入射角相对于工件。角植入物的设备，包括一个或多个角能量过滤器和机械装置可操作地耦合到工件支架，所述控制器控制角植入装置，从而改变扫描的离子束的入射角相对于工件同时与被扫描的离子线束撞击工件。 |
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