| 离子检测器，质量分析器的测量装置 |
| JP2019143036 2019-8-2 发明授权 |
| 2020-8-5 |
| [问题]降低离子检测器等的暗电流可以是噪声分量。 [解决方案]离子检测器是光电倍增管，在输入侧电极电位梯度屏蔽结构中的限制空间内的输入电极以限制在所有方向上的扩散为起点，一个输入电极电连接到输入侧电缆，具有。 屏蔽结构至少在输入侧具有包围电极的结构，或者具有由1构成的多个部件。 每个构件由绝缘材料或金属材料制成。 另外，一些屏蔽结构，由金属网窗构成。 在电缆输入侧的外周面，屏蔽结构将到达外部的离子和电子以阻挡不必要的，覆盖有绝缘涂层。 图2[图] |
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