| 用于离子注入系统的改进的电荷剥离 |
| WOUS20034948 2020-5-28 发明申请 |
| 2020-12-3 |
| 离子注入系统(100)具有从离子束种类产生离子以形成离子束的源，以及质量分析器质量分析离子束。 加速器接收具有处于第一电荷状态的离子的离子束，并在第二正电荷状态下输出具有离子的离子束。 加速器具有电荷汽提器，气体源和多个加速器级。 电荷汽提器将离子从第一电荷状态转换为第二电荷状态，气体源向电荷汽提器提供高分子量气体，例如六氟化物，多个加速级分别加速离子。 端站在第二带电状态下支撑待注入离子的工件。 |
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