| 扫描探针显微镜 |
| US16626969 2018-6-28 发明申请 |
| 2020-5-7 |
| 一种具有第一致动器(3)的扫描探针显微镜，所述第一致动器(3)被配置为移动尖端形式的特征，使得所述特征跟随扫描运动。 一种视觉系统(10)被配置为收集来自视场的光以生成图像数据。 该视场包括该特征，并且来自该视场的光经由该转向元件(13)从该特征传播到该视觉系统。 跟踪控制系统(15)被配置为根据存储的参考数据产生一个或多个跟踪驱动信号。 第二致动器(14)被配置为接收所述一个或多个跟踪驱动信号并且基于所述一个或多个跟踪驱动信号移动所述操纵元件，使得所述视场跟随与所述扫描运动和所述操纵元件同步的跟踪运动。 特征保留在视场内。 图像分析系统(20)被配置为分析来自视觉系统的图像数据以识别特征并测量特征相对于视场的视在运动。 校准系统被配置为基于由图像分析系统测量的视在运动来调整所存储的参考数据。 |
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